氧氮氫分析儀的工作原理：
氧氮氫分析儀測量范圍非常廣泛。分析樣品時，樣品被稱重后放到樣品端口中，然后用載氣進行沖洗，防止大氣（含氧氣和氮氣）進入到爐子系統中。石墨坩堝在脈沖爐中脫氣，以盡量減少自帶的污染。經過穩定階段后樣品落入坩堝中并熔融。樣品中的氧與石墨坩堝中的碳反應生成一氧化碳。氮和氫以單質的形式釋放。載氣和樣品氣體通過粉塵過濾網后再進入到氧化銅催化爐中，將一氧化碳氧化成二氧化碳。二氧化碳進入到紅外池中用于測定氧含量，被測后的氣體導入化學試劑管，這時二氧化碳和水被化學試劑除去，氮元素通過熱導檢測池含量被測定。測量氫時，載氣換為氮氣，樣品氣體通過舒茨試劑而不是氧化銅催化劑。測氧和氮時也可采用更廉價的氬氣作為載氣。
氧氮氫分析儀的使用注意事項：
1 、氧氮氫分析儀在初次啟用前，應該對連接點、焊點、閥門等進行檢漏，以確保空氣中的氧不會反滲進入管道及儀器內部，造成測量數值偏高。
2、樣氣中氧含量的變化會受管道材質及表面粗糙度影響，因此一般連接管路選用銅管或拋光過的不銹鋼管，而不用塑料管、橡膠管等。??
3、微量元素分析時，要避免各種管件、閥門、表頭等死角對樣氣造成污染，因此必須盡可能的簡化氣路系統，連接件死角要小，以防止溶解氧逸出造成污染，zui好使用水封、油封及臘封等設備，才能較好的確保數據的。??
4、再次使用儀器前，要進行管道系統凈化，將漏入的空氣除干凈，同時確保連接取樣管路時沒有漏入空氣。