熒光光譜儀之所以是一種快速的、非破壞式的物質測量方法，是因為x射線。這個射線能穿透過很多對可見光不透明的物質，如墨紙、木料等。X射線不被我們肉眼所看見，但是它可以使很多固體材料發生可見的熒光。
最初X射線用于醫學成像診斷和X射線結晶學。后來，隨著人們X線生物學效應的認識不斷提高，在新型X線設備中大量使用了新材料、新技術、新工藝，使這些設備的射線防護功能日益完善。X射線熒光光譜儀光譜法在化學分析
主要使用X射線束激發熒光輻射，到了現在，該方法作為非破壞性分析技術，并作為過程控制的工具，廣泛應用于采掘和加工工業。原則上，較輕的元素，可分析出鈹（z=4），但由于儀器的局限性和輕元素的低X射線產量，往往難以量化，所以針對能量分散式的X射線熒光光譜儀，可以分析從輕元素的鈉（z=11）到鈾，而波長分散式則為從輕元素的硼到鈾。本功能是由儀器判斷所含元素與波峰的重疊情況，并自動選擇統計誤差較小的分析線。可以更加有效地管理精度、提高測量效率。
