直讀光譜儀中激發光源是一直在進步發展的，目前數字電源在發展，那和傳統電源相比，他們的差異有在哪邊？
原子發射光譜儀的激發光源有熱激發光源（如火焰）、電激發光源（如電弧和火花）、等離子體激發光源（如直流等離子體噴焰(DCP)、電感耦合等離子體炬(ICP)和微波電感等離子體炬(MIP)）、激光光源等。常用的激發光源性能如下表所示。
常用原子發射光譜激發光源性能對比
直讀光譜儀采用的多為火花光源，也有少量采用電弧光源分析礦物或超低含量合金。傳統的火花光源采用電容電感充放電原理，電容電感參數確定后，激發波形固定，所有元素均采用相同的激發波形；但是不同樣品和不同元素需要不同激發波形，例如激發電位高的元素需要火花型放電波形提供高的激發能量，痕量元素需要電弧型放電波形改善蒸發效果，因此傳統火花光源的激發效果較差。
新型的數字光源采用多高頻電源脈沖合成技術，可實現任意激發波形，針對不同元素采用最合適的激發波形，獲得最佳激發效果，以滿足不同基體的分析需求，是傳統激發光源無法比擬的。
另外要說的關于原子發射光譜儀的組成部分：一般由激發光源、色散系統和檢測系統組成。
激發光源——提供試樣蒸發，原子化，激發的能量；
色散系統——將光源產生的復合光按波長順序分開；
檢測系統——檢測并記錄光譜。
隨后儀器根據所檢測到的特征譜線的波長和強度來測定物質的元素組成和含量。