探測器是臺式X熒光光譜儀中一個重要的組成期間，它的價格也有很大來去，那具體的原因是什么呢？
按照分辨率高低檔次由低至高常用的探測器有NaI晶體閃爍計數器，充氣（He, Ne, Ar, Kr, Xe等）正比計數管器、HgI2晶體探測器、半導體致冷Si PIN 探測器、高純硅晶體探測器、高純鍺晶體探測器、電致冷或液氮致冷Si（Li）鋰漂移硅晶體探測器、Ge（Li）鋰漂移鍺探測器等。
目前常用的是電致冷或液氮致冷Si（Li）鋰漂移硅晶體探測器、Si PIN 探測器、高純硅晶體探測器。
探測器的性能主要體現在對熒光探測的檢出限、分辨率、探測能量范圍的大小等方面。所以一臺X熒光光譜儀檢出限的好壞決定權就在于探測器的性能差異上了。
低檔探測器有效檢測元素數量少，對被測物質中微量元素較難檢測，分辨率一般在700－1100eV，一般可分析材料基體中元素數量較少，元素間相鄰較遠，含量較高的單個元素。
中檔探測器有效檢測元素數量稍多，對痕量元素較難檢測，分辨率一般在200－300eV， 一般用于檢測的對象元素不是相鄰元素，元素相鄰較遠（至少相隔1-2個元素以上），基體內各元素間影響較小。
高檔探測器可以同時對不同濃度所有元素（一般從Na至U）進行檢測，分辨率一般在150－180eV。可同時測定元素周期表中Na-U范圍的任何元素。對痕量檢測可達幾個ppm量級。
光譜儀的基本內部原理結構
Si PIN 探測器、高純硅晶體探測器的分辨率一般是200eV – 270eV，電致冷或液氮致冷Si（Li）鋰漂移硅晶體探測器的分辨率為140eV –165eV。電制冷不需要消耗液氮，但他制冷工藝復雜，價格也最貴，靠消耗電來制冷，分辨率比液氮稍遜，但也完全符合rohs檢測的要求。液氮制冷需消耗液氮，使用起來不方便，但液氮的溫度很低，操作者必須注意安全，但它的分辨率比電制冷稍好。這里我們還要看探測器的面積，探測器面積越大，效率越高。測試的時間就越短。市面上探測器面積有5—15mm2不等。