使用臺式X熒光光譜儀檢測固體樣品時候，還是需要注意樣品的制備效果，樣品制備是為了X熒光光譜儀的檢測準確性，所以。
1.樣品的分析面不能有氣孔，析出物和多孔質現(xiàn)象。
2.防止偏析。造成偏析的因素：合金的組成和密度；鑄模的材料、形狀和厚度；合金熔化溫度、澆鑄溫度和被澆鑄樣品的冷卻速度等。
3.樣品的冷卻速度。當樣品化學組成相同由于熱過程不同測得的X 射線強度不同，含C 量高的鋼鐵樣品這種現(xiàn)象尤為突出。冷卻速度不一致時，對輕元素C、Mg、Si、P、S 等存在很大影響；而V、Cr、W 等往往由于形成碳化物而影響分析。因此，要求制作校準曲線的樣品和分析樣品的熱處理過程要保持一致。此外，還和元素在基體金屬中的溶解度有關，元素的低固熔性會影響金屬的均勻性，快速冷卻能形成細晶粒的金相結構，而大顆粒晶粒的邊界容易發(fā)生偏析和不均勻性。對于不適合直接分析的金屬樣品，如切削樣、線材和金屬粉末等還可以采用感應重熔離心澆鑄法來制備樣品。原理是將適當大小的樣品放入坩堝，在氬氣氣氛中通過高頻, 感應加熱重新熔融，在離心力的作用下注入特制的模子里，然后迅速冷卻制得金屬圓塊樣品。離心澆鑄法可以消除樣品的基體效應，并且可以采用添加法：稀釋法（常見稀釋劑的有純鐵），內標法等。還可人工合成標樣。但設備昂貴，制樣成本高。
為了提高臺式X熒光光譜儀的檢測準確性，需要做好固體樣品的制備工作。
臺式X熒光光譜儀的檢測