首先，工作原理不同。
光電直讀光譜儀是樣品在激發臺被激發光源激發后，通過聚光鏡及直線電機產生各個元素的特征光譜，各種元素的光譜譜線通過光柵分光自動排列出各元素譜線，各種元素譜線通過出射狹縫照射在光電倍增管上，通過光電倍增管轉換成光電流，元素光譜強度與光電流強度成正比例關系，即光譜越強光電流越大，所測元素的光譜譜線強度與所測元素的含量有一定的函數關系。再由光電流大小通過數據處理得出所測元素含量；光電倍增管信號的測量、數字化和存儲；通訊，接收計算機命令等。
X—熒光光譜分析儀工作原理是利用高能量的×光，打擊試樣，使試樣中被測元素的內層電子被激發打走，次內層電子回落到內層，同時產生一個光子，這個光子具有特定的頻率，與其他原子同樣條件下產生的光子不同，儀器再經過光柵色散，把這一種元素產生的單色光分離出來，再利用一個光電管，把這一種光信號轉變為電信號，這個電信號與試樣中被測物質的含量成一定的比例關系。但是這樣并不能獲得試樣中被測物質的含量,還必須與標準試樣在同樣條件下獲得的電信號進行比較才能獲得試樣中被測物質的百分含量。
其次，分析特點不同。??
x——熒光光譜分析儀的特點是，儀器由計算機控制，自動化水平高，分析速度快，它不需要象火花(光電)直讀光譜那樣要求試樣具有導電性，所以可以完成非金屬試樣的分析，它可以同時完成多個被測元素或者被測組分的百分含量，如Mg、Al、Zn、Mn、Si、Cu、Ni、Fe、Be、Sr、MgO、Al2O3、Sio2、Cao及稀土等可以同時完成。
一般多數用戶的×—熒光光譜分析儀僅專門用來分析精礦粉、石灰、青石、白云石、爐渣、熔劑等不導電的試樣。同時它也可以進行金屬材料等導電試樣的分析。其他特點與直讀光譜相同。X射線熒光直讀光譜儀可以分析粉末樣品、熔融樣品、液體樣品、固體樣品等，非金屬或金屬都可以分析;
火花直讀光譜儀只能分析固體樣品，而且要求樣品是導電介質，簡單的說就是分析金屬固體樣品中的金屬或者非金屬元素。
主要用途:儀器是較新型×射線熒光光譜儀，具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析F(9)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。×熒光分析快速，某些樣品當天就可以得到分析結果。適合課題研究和生產監控。
火花直讀及ICP用來做純金屬,火花直讀對樣品要求比ICP要求高,×熒光用來做合金,但也可以做純金屬,但他的效率就不及火花直讀了.但在做純金屬主量元素分析時,火花直讀和ICP是間接分析,而×熒光可以直接分析主量元素.主要用途:儀器是較新型×射線熒光光譜儀，具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析F(9)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。
×熒光分析快速，某些樣品當天就可以得到分析結果。適合課題研究和生產監控。火花直讀及ICP用來做純金屬,火花直讀對樣品要求比ICP要求高,×熒光用來做合金,但也可以做純金屬,但他的效率就不及火花直讀了.但在做純金屬主量元素分析時,火花直讀和ICP是間接分析,而×熒光可以直接分析主量元素.精度(分析正確度)除了ICP以外，直讀光譜和X熒光都依靠標準樣品的質量。如果，不能準備完全的標準樣品，不可能得到標準偏差。標準樣品是當然一定要沒有偏析，正確的標準值。除了ICP以外，直讀光譜和X熒光都依靠標準樣品的質量。如果，不能準備完全的標準樣品，不可能得到標準偏差。