X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF）。我們通常所說的X熒光光譜儀就是指波長(zhǎng)色散的儀器。
1、X熒光光譜儀的優(yōu)勢(shì)
（1）測(cè)量范圍寬，從0.001%到99.99%均可進(jìn)行分析。??
（2）分析范圍廣，理論上從sihao元素Be到92號(hào)元素鈾均可進(jìn)行分析。??
（3）制樣簡(jiǎn)單。通常情況下是物理制樣。試樣經(jīng)過簡(jiǎn)單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成。
2、X熒光光譜儀的局限性
（1）X熒光光譜儀對(duì)標(biāo)樣的依賴性很強(qiáng)。試樣的顆粒度、組成、結(jié)構(gòu)差異等均會(huì)對(duì)分析結(jié)果產(chǎn)生很大影響。??
（2）不銹鋼中的五害元素也不能用
X熒光光譜儀? 進(jìn)行分析。傳統(tǒng)上，不銹鋼生產(chǎn)企業(yè)通常用XRF熒光進(jìn)行過程控制分析，主要是直讀光譜儀對(duì)高含量元素鉻、鎳的測(cè)量精度不能令人滿意。一臺(tái)儀器就能滿足合金成份與微量元素的全部測(cè)定。目前不銹鋼生產(chǎn)企業(yè)就只能用直讀光譜儀來測(cè)量微量元素了，因當(dāng)今材料要求五害元素的含量比guojia標(biāo)準(zhǔn)要低得多。
（3）各公司宣傳
X熒光光譜儀? 的分析范圍從PPM到99.99%。實(shí)際上儀器的分析下限受所分析試樣的基體影響很大。如果分析碳?xì)浠衔镏械脑兀瑱z出限可以達(dá)到到PPM，如石油中硫S的分析，地質(zhì)樣品中則只能達(dá)到10PPM，而在鉛合金中檢出限要50PPM以上。
X熒光光譜儀無法進(jìn)行純金屬材料分析，純金屬材料中各元素的含量均很低。??