首先我們要尋找直讀光譜儀故障產生的原因，操作時注意以下幾點：
1、光路是否無靜態氬氣保護。
光路是密封的非真空狀態，必須用靜態氬氣保護才能保證紫外線20min以下元素的準確分析。有時光路的靜態氬氣氣路被阻或掉下，造成光路無靜態氬；另外調節靜態氬的氣閥出現故障也會出現這現象。直讀光譜儀開機使用時，必須保證氬氣打開20min以上才能做狹縫掃描和工作曲線校準。因為時間太短會造成光路靜態氬還沒有達到飽和而造成200nm以下的元素光強值逐步增加的現象。原來校準的工作曲線會造成碳、磷、硫等元素含量偏高。
直讀光譜儀操作
2、左、右樣品架的人射窗口是否被污染。
左、右樣品架的人射窗口若被污染。會使分析結果嚴重偏低。所以，石英窗必須經常進行清洗，常用5%的鹽酸或酒精進行清洗。清洗之后元素的光強值會明顯增加。安裝時應注意石英窗的密封圈是否安裝到位。不要有縫隙，避免氬氣的泄露。
3、出現系統工作正常，高壓供電正常，分析結果為“O”怎么辦？
這種故障出現在Hg燈反射針或右架反射鏡的電感線圈位置不對時。左架曝光時，Hg反射鏡沒有退出光路，左架激發光不能進入入射光路，而是被Hg反射鏡擋住。在右架激發時，曝光階段右架反射鏡沒有進入光路，使激發光不能反射到入射光路。
解決辦法︰
1）重新安置反射鏡動作的電感線圈驅動位置。
2)檢查反射鏡動作的控制信號。
3）檢查右架反射鏡是否掉下來了。
4)同一樣品左、右架激發的光強值不同。造成這種情況需要調整右架反射鏡的反射偏轉角。