近年來，X熒光光譜儀分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得zui多也zui廣泛的一種儀器。大多數分析元素均可用其進行分析，X熒光光譜儀可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍非常廣泛，以創想儀器EDX-6000型以及EDX-9000型來說，前者分析范圍可S（16）到U（92）之間的所有元素，后者可分析Na（11）到U(92)之間所有元素。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。X熒光光譜儀根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。
? ?關于X熒光光譜儀的優缺點
1、優點
1) 適用范圍廣。X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
2) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
3) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
4) 分析精密度高。
5) 非破壞分析，重現性好。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
6) 分析時間短。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
2、缺點
1）對輕元素的靈敏度要低一些。
? ? ? ?2）難于作分析，故定量分析需要標樣。
3）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。