說起這個臺式X熒光光譜儀呢，要從很久以前說起，這要追溯到125年前......
1895年，德國物理學家倫琴(RoentgenWC)發現了X射線。
1896年，法國物理學家喬治(GeorgsS)發現了X射線熒光。
1948年，弗利德曼(Friedman H. )和伯克斯(Birks LS)首先研制了第一臺商品性的波長色散X射線熒光(WDXRF)光譜儀。
1965年，探測X射線的Si(Li)探測器問世了，隨即被裝配于X射線熒光光譜儀上，成為能量色散X射線熒光(EDXRF)光譜儀的核心部件。
1969年，美國海軍實驗室Birks研制出第一臺真正意義上的EDXRF光譜儀。
二十世紀七十年代初，EDXRF光譜儀正式跨入儀器分析行業。與此同時，還相繼出版了多部有關EDXRF光譜分析的論著。
倫琴和X射線的發現
近半個世紀以來，隨著半導體技術和計算機技術的迅猛發展。特別是半導體探測器出現和性能不斷地提高，能量色散X熒光光譜儀的生產和應用也達到了快速發展，其市場占有量也與波長色散X熒光光譜儀平分秋色。目前，我國已有多家研制、生產、組裝能量色散X熒光光譜儀的廠商，其主要性能指標基本接近國際先進水平。能量色散X熒光分析技術發展至今，它已成為一門較為成熟的分析技術。
X熒光光譜分析技術被廣泛用于冶金、地質、礦物、石油、化工、生物、醫療、刑偵、考古等諸多部門和領域，同時已成為對物質的化學元素、物相、晶體結構進行試測，對人體進行醫檢和微電路的光刻檢驗等的重要分析手段，是材料科學、生命科學、環境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析儀器；能量色散X熒光光譜儀已成為理化實驗室的重要工具，是野外現場分析和過程控制分析等方面的好幫手。