直讀光譜儀選用的多見火花光源，還有小量選用電弧光源解析礦物質或超低含量合金。
傳統式的火花光源選用電容電感充放電基本原理，電容電感參數確認后，激發波型固定，全部原素均選用一樣的激發波型；可是不同試品和不同原素需要不同激發波型，比如激發電位高的原素需要火花型放電波型提供高的激發能量，微量分析需要電弧型放電波型改進蒸發作用，因而傳統式火花光源的激發作用較弱。??
直讀光譜儀廠家
原子發射光譜儀的激發光源有熱激發光源（如火苗）、電激發光源（如電弧和火花）、等離子激發光源（如直流等離子噴焰(DCP)、電感藕合等離子炬(ICP)和微波電感等離子炬(MIP)）、激光光源等。??
新式的數字光源選用多高壓電源脈沖生成技術，可完成隨意激發波型，對于不同原素選用適合的激發波型，取得最好激發作用，以達到不同基體的解析需求，是傳統式激發光源無可比擬的。
數字光源是目前國外直讀光譜儀的主流發展趨勢。它是利用數字化合成的方式直接合成任意的放電波形，它脫離了傳統火花激發模塊的電感電容型模擬放電方式，是直讀光譜儀激發激發模塊的革命性進展。
由于可以合成任意的放電波形，使得激發模塊的激發過程完全實現人工操控。由于在激發電流合成關鍵路徑棄用了溫漂嚴重的電容和電感器件，數字化等離子體激發模塊的穩定性較傳統光源更加優良，進一步提高光譜儀整機的探測下限，使痕量元素的檢測水平達到新的高度。
模擬光源也有自身的優點，比如技術路線成熟，電容電感等模擬器件的抗電磁干擾性較數字電路優良等等，因此在直讀光譜儀上仍然有一席之地，特別是電弧類光源在礦物分析方面有獨特優勢。??